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第一節常用的真空製程- 除氣及乾燥製程

真空 幫浦僅用作維持抽系統中的空氣或氣體. 真空幫浦及輔助系統 ... （ion implantator）將半導體元件製程中所需的雜質 ... 真空鍍膜所需的設備. 高真空系統.

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