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「真空技術在半導體產業之應用/研討會」

特色：真空技術在半導體工業扮演重要角色，舉凡半導體的四項主要製程：薄膜，蝕. 刻，微影和擴散都少不了真空設備的使用。本研討會將著重在研討真空技術.

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