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半導體產業機器人應用現況與發展

當今半導體產業專用機器人，需符合半導體製程要求潔淨度、防塵、重複精度高、耐震度高之特性，晶圓機器人（Wafer Robot）多半搭配週邊設備採購，節省設備整合與測試 ...

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