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半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - 全國法規資料庫

本標準用詞及符號，定義如下： ... 十、新設製程：指本標準發布施行日起設立之半導體製程，及既存半導體製程符合固定污染源設置操作及燃料使用許可證管理辦法規定之 ...

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