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半導體爐管製程
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越薄越好,3D薄膜製程大挑戰:淺談原子層沈積技術
台灣半導體製造業位居全球重要地位,也是台灣重要的產業發展項目,隨著技術演進,元件尺寸越來越小、結構越來越複雜,傳統薄膜製程技術(PVD, CVD) 漸漸無法滿足這些 ...
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