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半導體清洗設備產業研究：行業進入黃金發展期，國內企業實力 ...

其中，半導體前道晶圓制造設備主要包括氧化/擴散設備、光刻設備、刻蝕設備、清洗設備、離子註入設備、薄膜沉積設備、機械拋光設備等。

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