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臭氧水在半導體清洗製程上的應用__臺灣博碩士論文知識加值系統

論文摘要在半導體製程中，清洗製程為重要的一環，對元件特性有極大的影響。以往傳統清洗製程為RCA清洗，RCA清洗方式有主要的幾個步驟，各有其功能，例如使用硫酸加雙氧水以 ...

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