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多孔性低介電常數材料的非損害性清洗製程 - CTIMES

除此之外，雖然ITRS 2003年發展藍圖承認目前的清洗製程會對低介電常數薄膜造成 ... 的設備業者FSI與宣佈與Novellus Systems簽訂合作協議，加入多家半導體設備廠商所 ...

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