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半導體濕式製程彙整 - i創科技

在半導體濕式製程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行，而溶液中奈米粒子的尺寸與分佈會影響晶圓電路圖案(pattern)的製程結果，例如清洗過程奈米 ...

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