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台積公司晶圓清洗機台熱水循環系統2.0，省電38萬度

因應半導體技術快速演進，台積公司積極以創新思維強化機台節能成效，民國108年攜手供應商開發晶圓清洗機台熱水循環系統1.0版，於原供水管線加裝儲熱 ...

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