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半導體二手製程設備之安全評估－以濕蝕刻清洗機台為例

本論文研究以八吋晶圓廠濕蝕刻清洗設備某一型號為評估對象，探討運轉多年之舊型機台在本質安全與火災發生風險。透過機台內部槽體、電氣單元、化學品供應等等風險危害， ...

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