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臭氧水在半導體清洗製程上的應用__臺灣博碩士論文知識加值系統
在半導體製程中,清洗製程為重要的一環,對元件特性有極大的影響。以往傳統清洗製程為RCA清洗,RCA清洗方式有主要的幾個步驟,各有其功能,例如使用硫酸加雙氧水以去除 ...
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