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P型氮化鎵活化技術的探討賴兆勇、黃俊達

目前學術界，及工業界活化P-GaN的方式大多是以傳統爐管CFA的方式，升溫到700~900 ... 數6.37ohm-cm，所得的結果和640度高溫活化相差不遠，以半導體製程來說，能把製程 ...

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