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常用的鍍膜製程

排列；而對單晶膜而言，除了結晶缺陷密度的降低之外，也能降. 低磊晶成長溫度。 ... 廣泛的應用在半導體. 積體電路製程中，諸 ... 溫度，Δ E是活化能. Chin-Chung Yu.

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