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含有污染物之廢氣，依不同屬性送至中央廢氣洗滌塔或活性碳 ...

... 塔或活性碳吸附塔進行處理，而本公司空氣污染防制設備之處理能力均符合「固定污染源空氣污染物排放標準」及「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」之相關規定。

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