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晶圓廠空氣中氣態分子污染物之採樣及分析

隨著半導體導線線徑的縮減，氣態分子污染物(AMC) 的管制及監控方式也益受重視。本文. 將介紹氣態分子污染物的定義、對半導體廠可能的影響、其可能來源及檢測時機，及對其常.

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