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利用傳統互補金屬氧化物半導體與微機電系統製程技術之矽 ...

特提出利用傳統互補金屬氧化物半導體技術製作矽光檢測器，再加上微機電系統製程技術(側蝕刻製程)來消除基板吸收光後造成的影響和干擾，可進而大幅改善反應速度。而此結構僅 ...

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