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半導體氧化製程
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111-1學期世界先進產學合作課程-半導體製程與設備概論
其技術是利用光線照射已刻好圖案的光罩及光阻,將電路圖案「轉印」到晶圓上的過程。舉例來說,在含有⼀層⼆氧化矽薄膜的晶圓上(⾒下圖),希望於特定位置 ...
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