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為何半導體無塵室都採用黃光？原來影響晶片關鍵步驟

原來這跟半導體製程的關鍵步驟有關。 ... 在這個過程中，會將有二氧化矽絕緣層的矽晶圓塗上光阻，並於上方套上光罩（特定位置中有洞），透過紫外光 ...

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