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半導體製程簡介

13-1 半導體製程簡介 ... 導電能力介於導體和絕緣體之間的材料，就稱之為半導體。 ... ③重複薄膜製作→微影製程→蝕刻（並去除光阻）→離子植入（並去除二氧化矽 ...

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