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微製程概論(IC 及TFT/LCD)

半導體製程 中所用到的標準清洗步驟，其程 ... 可氧化及去除輕微的有機物污染及部份金屬原子污染。 ... 矽原子非常容易在含氧氣及水的環境下氧化形成氧化層，稱為原.

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