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半导体制程(氧化设备)-芯三七 - 技术文章

半导体制程 (氧化设备),芯三七. ... 三、半导体制程设备半导体制程概分为三类：(1)薄膜成长，(2)微影罩幕，(3)蚀刻成型。设备也跟着分为四类：(a)高温 ...

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