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半導體製造中的塗佈

半導體 製造製程中的塗佈，在以積體電路的基礎晶圓的表面處理、光阻劑塗佈、鍍膜等為目的的製程中， ... 使用高溫爐烘烤，在表面形成二氧化矽（SiO₂）膜。

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