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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

由於半導體工業所製作的積體電路元件尺寸愈來愈小， ... 其機台主要為爐管設備，如右 ... 光阻介紹. 光阻的作用是要將積體電路結構. 圖形印製在晶圓表面上，其功能.

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