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半導體機台介紹
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半導體製程設備(四版) - 博客來
內容簡介. 半導體元件由矽土製成矽晶圓, 再經數百個製程步驟,才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器,主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像 ...
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