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北美智權報第116期：朝5nm微縮邁進：路徑眾多

過去開發的半導體世代技術，很清楚地以製程技術和材料選擇來定義所謂的「贏家」 ... Tedesco說，「最小線寬、CD 的控制和缺陷等參數都控制在能夠實施該技術的範圍內」 ...

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