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TFT LCD 面板的驅動與設計Part 3

{表3.2} TFT製程設計準則線寬定義限制. 閘極金屬線. 最小寬度: 5μm，最小間隔: 3.5μm. 光罩尺寸與實際尺寸差距: 1±0.5μm. 半導體層線. 最小寬度: 5μm，最小間隔: 4μm.

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