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讓摩爾定律成真的關鍵： 微影技術— 影響七十億以上個未來

製程中的微影（lithography）技術可說是整個半導體工業相當關鍵的製程，因為目前 ... 由於光罩上的線寬逐漸縮小，且線與線之間的距離（簡稱間距）也逐漸縮短（請參考 ...

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