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奈米技術計量標準計畫（6/6）

奈米粒徑、線寬、奈米膜厚、晶圓表面奈米微粒；奈米壓痕、微小力量； ... 共同合作進行，量測技術發展視為半導體界最前端之需求，因此透過與NIST 合作，.

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