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半導體最小線寬定義
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【分析】半导体全面分析(四):晶圆四大工艺,落后两代四年!
... 匀胶工艺系把光刻胶涂抹在薄膜上,光刻和显影工艺系把光罩上的图形转移到光刻胶,集成电路的最小线宽取决于光刻设备的分辨率,它定义了半导体器件 ...
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