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半導體最小線寬定義
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聲光電暨奈微米結構實驗室聲聲
檢測有其必要性,從半導體晶片、金屬靶材、玻璃面版、封裝 ... 半導體靶材缺陷之超音波影像 ... 以金屬接觸轉印微影技術完成最小線寬500 奈米之表面聲波.
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