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半導體最小線寬定義
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半導體製程@ 這是我的部落格 - 隨意窩
基本的半導體製程為添加、移除、加熱處理和圖案化電漿的基礎原理○電漿是由離子、電子和 ... 與兩層金屬層(metal,Al),而製程容許最小線寬為0.5μm。
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