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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 動態光罩技術 ...

本計畫的主題為運用面光源快速原型技術之動態光罩[1-5]結合半導體製程於製作新式 ... 其曝光測試能量為240μW/cm2，最小線寬4.5μm，曝光時間為30 秒，測試期間其DLP 內.

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