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半導體製程技術 - 聯合大學

更精確的定義: 電漿就是有著帶電與中性粒子之準中 ... 最小的介電層數量為: ... 半導體. SiCl2H2 (二氯矽烷；DCS). Si (磊晶). SiCl3H (三氯矽烷；TCS).

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