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在積體電路領域，特徵尺寸是指半導體器件中的最小尺寸。在 ...

在CMOS工藝中，特徵尺寸典型代表為“柵”的寬度，也即MOS器件的溝道長度。 ... 線寬最小能達到多少，往往取決於Foundry的技術和設備，比如光刻設備解析度。

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