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193nm波長光刻機如何刻出28nm線寬晶片？ - 電子技術設計

此外， 32nm、22nm、14nm只是一個技術節點的標誌， 可能對應的最小結構是60nm、40nm、25nm…等，總之要比標稱大不少。這個節點各家公司還不一樣，比如大家 ...

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