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奈米線 - 國內學術電子期刊系統

薄薄的半導體材料（如矽晶圓）上，體積小 ... 蝕刻的方式較容易準確定義與控制基板上奈. 米線的位置、大小與形貌。 ... 當超出微影技術能達到的最小線寬極限時，.

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