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半導體曝光機
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光罩
在半導體,如LSI,的製造過程中,在光罩的圖案被微縮並且多次在矽晶圓上曝光而步進機( 例如,微縮投影型曝光機) 移位,同時傳輸多個元件圖案到每片晶圓上。
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