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電機工程學系碩士班學號姓名：E09801023 張博忠指導教授

如圖2-1 所示為半導體晶圓微影製作過程。機台使用的是晶圓軌道機-曝光機整合. 系統(track-scanner integration system) 來進行。 晶圓軌道機Track.

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