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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

由於半導體工業所製作的積體電路元件尺寸愈來愈小，. 在一塊小小的晶片上，整合了許許多多的元件，因此在. 製作的過程中就必須防止外界雜質污染源，因為這些污.

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