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半導體擴散製程
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張韶玲。市立高雄高工。資訊二甲PDF created with pdfFactory
刻、清洗、雜質擴散、離子植入及薄膜沉積等技術,所須製程多達二百至三百個 ... 半導體業主要區分為材料(矽品棒)製造、積體電路晶圓製造及積體電路構裝等三.
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