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半導體擴散製程
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聊聊~半導體基礎概論IC製造 - SwayChat的舌尖
在某些製程中亦用到氮化矽( Si3N4)的絕緣層。 ... 離子佈植法因在雜質濃度、縱深分佈及純度控制方面遠較擴散法優越,在大型積體電路製作上已被廣泛 ...
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