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PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com

單晶薄膜的沈積在積體電路製程中特別重要，稱為是『磊晶』 (epitaxy)。相較於晶圓基板，磊晶成長的半導體薄膜的優點主要有：可以在沈積過程中直接摻雜 ...

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