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半導體擴散製程
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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院
在日常生活中使用的日光燈就是電漿的應用,隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中,像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積;蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術 ...
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