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LPCVD/擴散

摻雜及未經摻雜的LPCVD 多晶矽; 低溫LPCVD SiGe; 100 至1200°C 以上退火制程. LPCVD 服務的市場：. MEMS · 先進封裝 · 功率半導體 ...

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