半導體製程 及原理,WAFER四大製程(應該是五製程) 黃光區(Photo) 蝕刻區(Etch) 薄膜區(Thinfin) 擴散... diffusion 原理同"擴散"篇【4】結論- 這兩種方式各有其優缺,但 ...
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