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擴散製程原理

擴散製程 原理 ... 沉積製程前要先經過抽氣、吹淨與測漏等步驟，反應氣體以漸進增加方式通入。 ... 製程完成後，要抽掉反應不完全的氣體，才可破真空（back fill）），取出晶圓 ...

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