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半導體化學氣相沉積膜厚之預測使用神經網路

如圖2.3 所示，加熱成長二氧化矽的氧是來自氣相的氧，而矽則. 是來自矽晶片，當薄膜成長進入矽晶片時，這個製程會消耗來自矽晶片的矽；. 以CVD 沉積而言，矽與氧都來自氣相 ...

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