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半導體擴散製程
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半導體製程及原理 | 擴散製程目的 - 旅遊日本住宿評價
擴散 方法是使用植入雜質或雜質的氧化物作氣相附著,將雜質原子植入半導體晶圓的表面附近區域。雜質濃度由表面成單調遞減,雜質的分佈固形取決於溫度及擴散 .
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