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半導體擴散製程
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半導體製造總覽| Thermo Fisher Scientific - TW
此製程包括磊晶層和電介質膜的生長/沉積、成模(光刻和蝕刻)、佈植(摻雜)和擴散以及互連金屬(鋁,銅)的沉積。每一層都採用成模技術,形成微米甚至奈米尺寸極其 ...
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